一种硅片激光切割设备的制作方法

2025-02-10

  导航:X技术最新专利机械加工,机床金属加工设备的制造及其加工,应用技术

  2.激光切割机是将从激光器发射出的激光,经光路系统,聚焦成高功率密度的激光束,激光束照射到工件表面,使工件达到熔点或沸点,同时与光束同轴的高压气体将熔化或气化金属吹走,随着光束与工件相对位置的移动,最终使材料形成切缝,从而达到切割的目的;然而现有的硅片激光切割设备在使用时存在一定的弊端,在切割使用时,目前行业内所使用的技术,只能用激光将硅片表面划一条痕迹,然后通过人工将多余部分手动掰断,其横截面表面粗糙,对后续生产工艺有很大和破坏性,生产效率低,破损率高。

一种硅片激光切割设备的制作方法(图1)

  3.本实用新型的主要目的在于提供一种硅片激光切割设备,可以有效解决背景技术中的问题。

  5.一种硅片激光切割设备,包括载物平台和切割集气外罩,所述切割集气外罩的内部下表面固定安装有载物平台,所述切割集气外罩的内部位于载物平台的上方活动安装有激光切割头安装板,所述激光切割头安装板的表面固定安装有第二安装加强筋,所述第二安装加强筋的表面固定安装有激光切割头,所述激光切割头的上端固定连接有光纤激光器qbh头。

  6.优选的,所述切割集气外罩的内部固定安装有定位切割架,所述激光切割头安装板固定安装于定位切割架上,且通过定位切割架在载物平台的上方移动。

  7.优选的,所述激光切割头安装板的前表面固定安装有第一安装加强筋,所述第一安装加强筋的表面开设有一号连接锁孔,所述一号连接锁孔的数量一共有两个,且均匀排布在第一安装加强筋的表面。

  8.优选的,所述第二安装加强筋的表面开设有二号连接锁孔,所述二号连接锁孔的数量一共为两个,且均匀排布在第二安装加强筋的表面。

  9.优选的,所述激光切割头通过固定螺丝依次穿过一号连接锁孔和二号连接锁孔将第一安装加强筋和第二安装加强筋锁紧固定而与激光切割头安装板固定安装。

  10.优选的,所述切割集气外罩的前表面设有密封门,且密封门的表面嵌设安装有玻璃窗,所述切割集气外罩的一侧表面开设有氮气充气端口。

  12.本实用新型中,通过设置的切割集气外罩,激光切割头切割后硅片将直接被切断,并且在切割的过程中通过切割集气外罩充入氮气保护,使得不受热应力影响其完整度,其完整度和切割横截面光洁度达到国标标准,改善了产品对后续制作工艺的影响,从而有效的提高了生产效率及生产产能。

  14.图中:1、载物平台;2、激光切割头安装板;201、第一安装加强筋;202、一号连接锁孔;3、激光切割头;4、第二安装加强筋;401、二号连接锁孔;5、光纤激光器qbh头;6、切割集气外罩。

  15.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

  16.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。

  17.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

  18.如图1所示,一种硅片激光切割设备,包括载物平台1和切割集气外罩6,切割集气外罩6的内部下表面固定安装有载物平台1,切割集气外罩6的内部位于载物平台1的上方活动安装有激光切割头安装板2,激光切割头安装板2的表面固定安装有第二安装加强筋4,第二安装加强筋4的表面固定安装有激光切割头3,激光切割头3的上端固定连接有光纤激光器qbh头5;

  19.切割集气外罩6的内部固定安装有定位切割架,激光切割头安装板2固定安装于定位切割架上,且通过定位切割架在载物平台1的上方移动;激光切割头安装板2的前表面固定安装有第一安装加强筋201,第一安装加强筋201的表面开设有一号连接锁孔202,一号连接锁孔202的数量一共有两个,且均匀排布在第一安装加强筋201的表面;第二安装加强筋4的表面开设有二号连接锁孔401,二号连接锁孔401的数量一共为两个,且均匀排布在第二安装加强筋4的表面;激光切割头3通过固定螺丝依次穿过一号连接锁孔202和二号连接锁孔401将第一安装加强筋201和第二安装加强筋4锁紧固定而与激光切割头安装板2固定安装,激光切割头3切割后硅片将直接被切断,并且在切割的过程中通过氮气保护,使得不受热应力影响其完整度,其完整度和切割横截面光洁度达到国标标准,改善了产品对后续制作工艺的影响,从而有效的提高了生产效率及生产产能;切割集气外罩6的前表面设有密封门,且密封门的表面嵌设安装有玻璃窗,切割集气外罩6的一侧表面开设有氮气充气端口。

  20.需要说明的是,本实用新型为一种硅片激光切割设备,在进行切割使用时,首先将切割集气外罩6前面的密封门密封关闭,然后抽出内部的空气,接着通过氮气充气端口充入氮气,当充气完毕后,工作人员便可通过数控设备设定定位切割架的切割路径,然后便可在激光切割头3移动的同时开启,从而切割载物平台1上的硅片,切割后硅片将直接被切断,并

  且在切割的过程中通过氮气保护,使得不受热应力影响其完整度,其完整度和切割横截面光洁度达到国标标准,改善了产品对后续制作工艺的影响,从而有效的提高了生产效率及生产产能。

  21.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

  技术特征:1.一种硅片激光切割设备,其特征在于:包括载物平台(1)和切割集气外罩(6),所述切割集气外罩(6)的内部下表面固定安装有载物平台(1),所述切割集气外罩(6)的内部位于载物平台(1)的上方活动安装有激光切割头安装板(2),所述激光切割头安装板(2)的表面固定安装有第二安装加强筋(4),所述第二安装加强筋(4)的表面固定安装有激光切割头(3),所述激光切割头(3)的上端固定连接有光纤激光器qbh头(5)。2.根据权利要求1所述的一种硅片激光切割设备,其特征在于:所述切割集气外罩(6)的内部固定安装有定位切割架,BG真人APP所述激光切割头安装板(2)固定安装于定位切割架上,且通过定位切割架在载物平台(1)的上方移动。3.根据权利要求1所述的一种硅片激光切割设备,其特征在于:所述激光切割头安装板(2)的前表面固定安装有第一安装加强筋(201),所述第一安装加强筋(201)的表面开设有一号连接锁孔(202),所述一号连接锁孔(202)的数量一共有两个,且均匀排布在第一安装加强筋(201)的表面。4.根据权利要求3所述的一种硅片激光切割设备,其特征在于:所述第二安装加强筋(4)的表面开设有二号连接锁孔(401),所述二号连接锁孔(401)的数量一共为两个,且均匀排布在第二安装加强筋(4)的表面。5.根据权利要求4所述的一种硅片激光切割设备,其特征在于:所述激光切割头(3)通过固定螺丝依次穿过一号连接锁孔(202)和二号连接锁孔(401)将第一安装加强筋(201)和第二安装加强筋(4)锁紧固定而与激光切割头安装板(2)固定安装。6.根据权利要求1所述的一种硅片激光切割设备,其特征在于:所述切割集气外罩(6)的前表面设有密封门,且密封门的表面嵌设安装有玻璃窗,所述切割集气外罩(6)的一侧表面开设有氮气充气端口。技术总结

  本实用新型公开了一种硅片激光切割设备,包括载物平台和切割集气外罩,所述切割集气外罩的内部下表面固定安装有载物平台,所述切割集气外罩的内部位于载物平台的上方活动安装有激光切割头安装板,所述激光切割头安装板的表面固定安装有第二安装加强筋,所述第二安装加强筋的表面固定安装有激光切割头,所述激光切割头的上端固定连接有光纤激光器QBH头。本实用新型所述的一种硅片激光切割设备,激光切割头能够将硅片直接切断,并且在切割的过程中通过切割集气外罩充入氮气保护,使得不受热应力影响其完整度,其完整度和切割横截面光洁度达到国标标准,改善了产品对后续制作工艺的影响,从而有效的提高了生产效率及生产产能。从而有效的提高了生产效率及生产产能。从而有效的提高了生产效率及生产产能。

  如您需求助技术专家,请点此查看客服电线. 高分子成型加工新技术及模具(包括外场对材料物理属性的影响机制、特种成型工艺及模具设计、复合成型技术及模具装备、模具CAD/CAE等) 2. 高分子基生化分析材料(包括生物分析专用试剂盒、高分子型试剂保护助剂等) 3. 药检分析仪器及耗材 4. 功能塑料与功能包装材料

  1.食品科学 2.农产品加工及贮藏工程 主要研究方向: 1. 农产品保鲜与加工技术 2. 鲜切果蔬加工 3. 功能活性酚类物质加工稳定性及其留存规律 4. 超声波声化效应研究

  1.机电一体化系统设计与开发 2.嵌入式系统设计与开发 3.工业与服务机器人技术研究