高测股份申请脱胶控制方法介质装置及线切割机专利大幅提升线切割机的效率

2024-09-08

  专利摘要显示,本发明涉及线切割技术领域,具体涉及一种脱胶控制方法、介质、装置及线切割机。本申请旨在解决现有的线切割机存在的切割效率低的问题。为此目的,本申请的线切割机包括切割框架和安装在切割框架上的主辊组件、进给装置和收集装置,手机装置形成有能够存储脱胶液的容纳腔。脱胶控制方法包括:切割过程中,获取切割过程信息;根据切割过程信息,判断头部晶棒是否切割完成;当头部晶棒切割完成后,控制与头部晶棒粘接的胶层至少部分浸没在脱胶液中,以使得切割完成的晶片收集于收集装置中;本申请可以实现晶棒的连续切割,并且在切割过程中即可实现对切割完成的晶棒的不停机浸泡脱胶和收集,有利于大幅提升线切割机的切割效率。